Abstract

ZALDIVAR ESCOLA, F.. Sistema de medición de error de foco: consideraciones prácticas del diseño. An. AFA [online]. 2022, vol.33, n.4, pp.90-98. ISSN 0327-358X.  http://dx.doi.org/10.31527/analesafa.2022.33.4.90.

Se presenta un estudio detallado de las consideraciones prácticas del diseño de un sistema de medición de error de foco mediante simulaciones numéricas basadas en matrices de rayos ABCD para haces gaussianos. Los resultados obtenidos pueden aplicarse equivalentemente a los casos de medición por reflexión o por transmisión, dado que los mismos resultan idénticos a menos de un cambio de variables. En todos los casos, los cálculos consideran la forma real del tipo de detector utilizado debido a que éstos poseen gaps que separan los diversos cuadrantes, afectando a su eficiencia. Las distancias involucradas entre los componentes ópticos son barridas a fin de estudiar el comportamiento de la sensibilidad, permitiendo maximizarla dependiendo de la aplicación.

Keywords : Error de foco; Haz astigmático; Haz gaussiano.

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